仿真实训系统包括半导体芯片制造的所有工艺制程的主流设备的实训，包括氧化工艺、光刻工艺、刻蚀工艺、薄膜沉积工艺、掺杂工艺和金属化工艺等。本课件只是部分功能展示，详细介绍请见：实训室建设方案。同时，我们也开发了：虚拟VR版本。

     我们的实训体系共包含三种模式：教学模式、训练模式和考核模式：

• 教学模式为教师日常上课教学所用模式，供学生在学习初期了解、学习工艺制程。

• 训练模式可用作学生对工艺制程有了一定了解后，自我提升、自我考核使用，可以当作正式考核前的模拟考试。

• 考核模式可用作检验该阶段学生的学习情况，能够验证和记录学生该阶段的学习成果。

虚拟仿真实训优势：

• 显著降低实验环境建设成本：半导体晶圆加工需要在洁净室环境进行，洁净室除了“洁净”之外，而必须是一个对冷热、噪声、照度、静电、微振都有相当要求的多功能的综合体，费用昂贵。

• 显著降低设备采购成本：半导体加工设备昂贵，同时需要空压、特气、氮气、纯水等相关配套设施，建设费用（几千万-几十亿），维护费（几百万-几亿）。

• 显著降低设备维护成本：半导体实验室运行维护需要专门的厂务、设备维护、工艺等相关工程师（几十人至上千人），人力成本巨大。

• 显著提高实操培训效率：利用沉浸式交互和指导，VR/AR教育可以帮助学员迅速上手，从而缩短培训时间并降低错误风险。相关机构的研究结果表明，如文字或图片，教学效率约为10%；复合媒体教学形式的效率，如多媒体教学，约为30%；高沉浸的媒体， 虚拟仿真教学的效率则达到70%。可见虚拟仿真可以大幅提高教学效率与学习效率。

• 免实验操作的安全风险：在体验式教育教学过程中，会有很多有危险性的体验与操作，比如化学教学中有很多实验涉及具有腐蚀性、有毒、易爆炸的液体或固体，用虚拟仿真的方式进行实验则可以避免实验中的安全风险。

• 解决效率低、乏味、抽象等痛点，提高学习兴趣与动力：虚拟仿真的沉浸感、临场感和趣味性，可以将枯燥乏味的知识以生动有趣的方式呈现，大大提高学生学习的积极性，激发学生的探索潜能。

    如您有任何问题，请联系我们：

                                     18551173673（赵老师）