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微纳米加工技术及其应用
第9任务： 【微纳加工技术】清华大学.[5.1.1]--光刻工艺综述.165271560
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任务列表
第1任务： 【微纳加工技术】清华大学.[1.1.1]--课程介绍.165223450
第2任务： 【微纳加工技术】清华大学.[2.1.1]--微电子工艺综述和超净环境.165227392
第3任务： 【微纳加工技术】清华大学.[3.1.1]--集成电路中的材料.165233419 (1)
第4任务： 【微纳加工技术】清华大学.[3.2.1]--单晶硅的特性及生长方法.165236969
第5任务： 【微纳加工技术】清华大学.[4.1.1]--薄膜制备技术简介.165243189
第6任务： 【微纳加工技术】清华大学.[4.2.1]--化学气相淀积技术.165249392
第7任务： 【微纳加工技术】清华大学.[4.3.1]--氧化和原子层淀积技术.165255265
第8任务： 【微纳加工技术】清华大学.[4.4.1]--外延技术.165260451
第9任务： 【微纳加工技术】清华大学.[5.1.1]--光刻工艺综述.165271560
第10任务： 【微纳加工技术】清华大学.[5.2.1]--光刻工艺详解.165273651
第11任务： 【微纳加工技术】清华大学.[5.3.1]--光刻系统及其关键参数.165275320
第12任务： 【微纳加工技术】清华大学.[5.4.1]--光刻工艺中的常见问题及解决方法.165279566
第13任务： 【微纳加工技术】清华大学.[5.5.1]--提高光刻精度的办法及其他先进光刻技术.165282235
第14任务： 【微纳加工技术】清华大学.[6.1.1]--干法刻蚀和湿法腐蚀.165284670
第15任务： 【微纳加工技术】清华大学.[6.2.1]--干法刻蚀中的若干问题.165287950
第16任务： 【微纳加工技术】清华大学.[7.1.1]--扩散工艺综述.165290352
第17任务： 【微纳加工技术】清华大学.[8.1.1]--浅槽隔离.165298521
第18任务： 【微纳加工技术】清华大学.[8.2.1]--自对准硅化物.165301842
第19任务： 【微纳加工技术】清华大学.[8.3.1]--High-K介质和金属栅.165307529
第20任务： 【微纳加工技术】清华大学.[8.4.1]--大马士革工艺.165312200
第21任务： 【微纳加工技术】清华大学.[9.1.1]--集成电路良率定义.165315462 (1)
第22任务： 【微纳加工技术】清华大学.[9.2.1]--封装和封装驱动力.165322245
第23任务： 【微纳加工技术】清华大学.[10.1.1]--典型的CMOS制造工艺流程.165323853
第24任务： 【微纳加工技术】清华大学.[10.2.1]--CMOSscaling中的若干问题.165327029
第25任务： 【微纳加工技术】清华大学.[11.1.1]--MEMS制造工艺.165328984
第26任务： 【微纳加工技术】清华大学.[11.2.1]--体型微加工技术.165331254
第27任务： 【微纳加工技术】清华大学.[11.3.1]--表面型的微加工技术.165332437
第28任务： 【微纳加工技术】清华大学.[11.4.1]--MEMS工艺实例.165332838
